Mục đích của nghiên cứu là sử dụng bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung polime (CMUT) cho xác định đối tượng. Bộ phát sóng này siêu âm này có thể tự truyền và nhận tín hiệu với độ định hướng cao. Bộ phát sóng siêu âm có thể đo khoảng cách của đối tượng theo phương thẳng đứng lên tới 50mm với sai số 0.2mm. Nó cũng có thể đo độ nhám bề mặt từ 33µm đến 162µm. Bộ phát sóng siêu âm này có thể sử dụng như cảm biến không tiếp xúc sử dụng trong kiểm tra công nghiệp
The purpose of this research is to apply polymer-based capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) for object identification. This CMUT can self-transmitting and receiving signals with high directivity. The CMUT can measure vertical up to 50mm with error of 0.2mm. It also can detect surface roughness from 33µm to 162µm. This CMUT can be used as proximity sensor for industrial inspection.