Mục đích của nghiên cứu này là làm giảm chiều cao của thành và độ dày của màng rung để giảm tần số cộng hưởng tự nhiên của cảm biến siêu âm điện dung. Do tần số cộng hưởng tự nhiên giảm, khoảng cách truyền sóng sẽ được cải thiện, làm giảm tiêu hao năng lượng và tăng hiệu suất truyền sóng. Cảm biến được thiết kế theo kiểu mảng 4x2, mỗi cảm biến thành phần có 16 màng dao động với chiều cao của thành bên là 1µm, màng dao động có đường kính và độ dày là 600µm và 3µm. Với thiết kế dạng mảng như vậy, cảm biến có thể tạo thành cảm biến bốn góc phần tư và được sử dụng để phát hiện vị trí ba chiều. Trong tương lai, cảm biến sẽ tiếp tục nghiên cứu sâu hơn để có thể ứng dụng trong hệ thống phát hiện 3D
The purpose of this study is to reduce the height of the side wall and the thickness of the vibrating membrane to reduce the natural resonant frequency of the capacitive ultrasonic sensor. As the natural resonance frequency decreases, the transmission distance will be improved, reducing energy consumption and increasing transmission efficiency. The sensor is designed in a 4x2 array, each component has 16 membranes with a side wall height of 1 µm, membrane with a diameter and thickness of 600µm and 3µm. With such an array design, the sensor can form a quadrant sensor and is used to detect three-dimensional position. In the future, the sensor will continue to further research to be applied in 3D detection system.